| スプレー法 |
・被試験体内部を真空に排気してディテクタに接続し、被試験体の外面にヘリウムを吹き付ける方法です。以下の2つの方法があります。
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グローバルテスト |
スプレーテスト |
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チャンバー内にヘリウムガスを注入し試験体をヘリウムガスで覆う。 |
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検査部位にヘリウムガスを噴きつける。 |
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ベルジャー法
（真空容器法） |
・試験体を真空容器の中にいれ、容器内を真空に排気し、試験体にヘリウムガスを注入加圧する。真空容器内に漏れてくるヘリウムを検知する。
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| スニファー法 |
・被試験体はヘリウムで加圧されます。リークディテクタはLDS（ロングディスタンススニファ）を経て、被試験体からリークしたヘリウムを収集します。
| グローバル（テスト）法 |
リーク位置特定法 |
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被試験体はディテクタに接続されたスニファプローブを挿入されたケースで覆われます。 |
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リークのありそうな場所にスニファプローブで探ります。 |
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| ボンビング法 |
・被試験体はまず加圧したヘリウムの入った容器の中に入れられます。もしリークがあれば、ヘリウムは被試験体の中に浸透します。
・被試験体をこの容器から取り出し、ディテクタに接続された別の容器の中に入れます。リーク箇所を通して被試験体からヘリウムが 漏れ出し信号となります。
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原理
